YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-10 19:30:30 浏览:9616
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基本信息
| 标准名称： | 外延钉缺陷的检验方法 |
| 中标分类： | 冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合 |
| ICS分类： | 电气工程 >> 半导体材料 |
| 发布部门： | 中国有色金属工业总公司 |
| 发布日期： | 1992-03-09 |
| 实施日期： | 1993-01-01 |
| 首发日期： | |
| 作废日期： | |
| 提出单位： | 中国有色金属工业总公司标准计量研究所 |
| 起草单位： | L海有色金属研究所 |
| 起草人： | 施海青、金胜祖 |
| 出版日期： | 1993-01-01 |
| 页数： | 2页 |
适用范围
本标 准 规 定了外延钉缺陷的检验方法
本标 准 适 用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比少且 彼此不相连，本标准可用十钉缺陷的汁数。本标 准 不 能测量钉缺陷的高度
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 冶金 半金属与半导体材料 半金属与半导体材料综合 电气工程 半导体材料
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